| アイテムタイプ |
学術雑誌論文 / Journal Article_1(1) |
| 公開日 |
2024-04-23 |
| タイトル |
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タイトル |
Enhancing analysis efficiency: Automation of spectroscopic ellipsometry for crystalline semiconductors and transparent conductive oxides |
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言語 |
en |
| 作成者 |
Maeda, Sara
Tani, Yusuke
Katayama, Hirotaka
Kanematsu, Daiji
Oiwake, Kohei
Nishigaki, Yukinori
Miyadera, Tetsuhiko
Chikamatsu, Masayuki
Nagai, Takayuki
Aizawa, Takuma
Hanzawa, Kota
Hiramatsu, Hidenori
Terakawa, Akira
Hosono, Hideo
Fujiwara, Hiroyuki
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| アクセス権 |
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アクセス権 |
metadata only access |
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アクセス権URI |
http://purl.org/coar/access_right/c_14cb |
| 出版者 |
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出版者 |
Elsevier |
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言語 |
en |
| 日付 |
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日付 |
2023 |
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日付タイプ |
Issued |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| 出版タイプ |
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出版タイプ |
NA |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_be7fb7dd8ff6fe43 |
| 関連情報 |
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関連タイプ |
isIdenticalTo |
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識別子タイプ |
DOI |
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関連識別子 |
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2023.140099 |
| 関連情報 |
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関連タイプ |
isIdenticalTo |
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識別子タイプ |
URI |
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関連識別子 |
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0040609023004297 |
| 関連情報 |
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関連タイプ |
hasVersion |
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識別子タイプ |
URI |
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関連識別子 |
https://www.sciencedirect.com/science/article/am/pii/S0040609023004297 |
| 収録物識別子 |
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収録物識別子タイプ |
PISSN |
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収録物識別子 |
0040-6090 |
| 書誌情報 |
en : Thin Solid Films
巻 787,
p. 140099,
発行日 2023
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