WEKO3
アイテム
窒化ケイ素系硬質膜及び酸化ルテニウム系抵抗膜の合成と応用に関する研究
http://hdl.handle.net/20.500.12099/1677
http://hdl.handle.net/20.500.12099/16775b06b67d-f0b1-49eb-8ba6-81c37a22ffed
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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内容の要旨(Summary) (270.5 kB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2008-02-07 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 窒化ケイ素系硬質膜及び酸化ルテニウム系抵抗膜の合成と応用に関する研究 | |||||
| 言語 | ja | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | metadata only access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_14cb | |||||
| 著者 |
倉増, 敬三郎
× 倉増, 敬三郎 |
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| 雑誌名 |
発行日 1997-09-03 |
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| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | NA | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_be7fb7dd8ff6fe43 | |||||
| その他の言語のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Study on the Preparation and Application of Hard Films Based on Silicon Nitride and Thin Film Resistors Derived from Ruthenium Oxide | |||||
| 言語 | en | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 博士論文 (Doctoral dissertation) | |||||
| 資源タイプ・ローカル | ||||||
| 値 | 博士論文 | |||||
| 資源タイプ・NII | ||||||
| 値 | Thesis or Dissertation | |||||
| 資源タイプ・DCMI | ||||||
| 値 | text | |||||
| 資源タイプ・ローカル表示コード | ||||||
| 値 | 03 | |||||
| 学位番号 | ||||||
| 値 | 博士(工学) 乙第005号 | |||||
