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アイテム
半導体プロセス用高密度プラズマ源の開発(トピックス)
http://hdl.handle.net/20.500.12099/36117
http://hdl.handle.net/20.500.12099/36117bb9d4a5c-412b-415f-a7b0-532072d6c957
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文(Fulltext) (225.1 kB)
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| アイテムタイプ | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2017-07-14 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | 半導体プロセス用高密度プラズマ源の開発(トピックス) | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||
| 著者 |
牟田, 浩司
× 牟田, 浩司
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| 雑誌名 |
日本機械学會誌 巻 113, 号 1098, p. 389-389, 発行日 2010-05-05 |
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| ISSN | ||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||
| 収録物識別子 | 0021-4728 | |||||||
| 書誌レコードID | ||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||
| 収録物識別子 | AN00187394 | |||||||
| 権利 | ||||||||
| 権利情報 | The Japan Society of Mechanical Engineers (社団法人日本機械学会) | |||||||
| 権利 | ||||||||
| 権利情報 | 本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである | |||||||
| フォーマット | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||||
| 形態 | ||||||||
| 値 | 225147 bytes | |||||||
| 著者版フラグ | ||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||
| 出版者 | ||||||||
| 出版者 | 社団法人日本機械学会 | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 論文(Article) | |||||||
| 資源タイプ・ローカル | ||||||||
| 値 | 雑誌掲載論文 | |||||||
| 資源タイプ・NII | ||||||||
| 値 | Journal Article | |||||||
| 資源タイプ・DCMI | ||||||||
| 値 | text | |||||||
| 資源タイプ・ローカル表示コード | ||||||||
| 値 | 01 | |||||||
| 異版である | ||||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||
| 関連識別子 | http://ci.nii.ac.jp/naid/110007593716/ | |||||||
| コメント | ||||||||
| 値 | 出版社版 (publisher version) postprint | |||||||
